乙硼烷|二硼烷B2H6
| 乙硼烷 5.0N Diborane 5.0N | |
| 組分 Components | 規(guī)格 Specification |
| 乙硼烷 Diborane（B2H6） | 99.999% |
| 氮 Nitrogen (N2) | ≤2 ppmv |
| 氧 Oxygen (O2) | ≤0.5 ppmv |
| 二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) | ≤2 ppmv |
| 甲烷 Methane (CH4) | ≤4 ppmv |
| 氫 Hydrogen (H2) | ≤100 ppmv |
| 水 Water (H2O) | ≤0.1 ppmv |
| 三氟化硼 Boron trifluoride（BF3） | ≤50 ppmv |
| 丁硼烷 Teraborane(B4H10) | ≤180 ppmv |
| 戊硼烷 Pentaborane(B5H9） | ≤10 ppmv |
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戊硼烷 Pentaborane（B5H11）
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≤10 ppmv |
| 產(chǎn)品用途：用于半導(dǎo)體、太陽能電池等領(lǐng)域 | |
