高純電子特氣分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體
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標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)名稱(chēng) |
標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)編號(hào) |
組分 |
相對(duì)擴(kuò)展不確定度 |
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)及名稱(chēng) |
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氦氣 |
BW(DT)0143 |
Ar、O2、CH4、CO2、Ne、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氦氣平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 4844_純氦、高純氦和超純氦 |
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氬 |
BW(DT)0113 |
O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氬氣平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 4842-2017 氬 |
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氫 |
BW(DT)0110 |
Ar、O2、CH4、CO2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氫氣平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 3634.2 氫氣 第2部分：純氫、高純氫和超純氫 |
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氮 |
BW(DT)0159 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO 1.00—1000(μmol/mol) 氮?dú)馄胶?/span> |
2%(k=2) |
GB/T 16944-2009 電子工業(yè)用氣體 氮 GB/T8979-2008 純氮、高純氮和超純氮 |
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氧 |
BW(DT)0134 |
Ar、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氧平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 14599-2008 純氧、高純氧和超純氧 GB/T 14604-2009 電子工業(yè)用氣體 氧 |
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二氧化碳 |
BW(DT)0108 |
Ar、O2、CH4、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 二氧化碳平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 23938-2009 高純二氧化碳 |
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一氧化碳 |
BW(DT)0162 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、N2 1.00—1000(μmol/mol) 一氧化碳平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 35995-2018 一氧化碳 |
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氖 |
BW(DT)0171 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氖氣平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 17873-2014 純氖和高純氖 |
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氪 |
BW(DT)0171 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2、Xe 1.00—1000(μmol/mol) 氪氣平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 5829-2006 氪氣 |
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氙 |
BW(DT)0171 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 、Kr、N2O 1.00—1000(μmol/mol) 氙氣平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 5828-2006 氙氣 |
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甲烷 |
BW(DT)0142 |
Ar、O2、CO2、H2、CO、N2、乙烷、硫化氫 1.00—1000(μmol/mol) 甲烷平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 33102-2016 純甲烷和高純甲烷 |
