一氟甲烷的制備方法與流程
- 發(fā)布時間：2022-10-11
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一氟甲烷(又稱hfc-41，分子式為ch3f)是一種在常溫常壓下無毒、可液化的氣體。由于其具有較低的溫室效應(yīng)潛值和零臭氧損耗潛值，是一種低溫?zé)岜玫睦硐牍べ|(zhì)之一；同時一氟甲烷也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，作為等離子蝕刻材料用于蝕刻硅化合物的薄膜。目前制備一氟甲烷的方法主要有以下幾種：
一、氣相加氫脫氯法
以一氟二氯甲烷或一氟一氯甲烷為原料，在催化劑的作用下與氫氣發(fā)生加氫脫氯反應(yīng)。
二、氣相氟化法
cn100562510c公開了一種氟甲烷的制備方法，其以氯甲烷為原料和氟化氫在催化劑存在下進行反應(yīng)，催化劑為三價氧化鉻和in、zn、ni、co、mg和al中的至少一種組成，氣相氟化反應(yīng)生成hfc-41。
三、其他方法
采用甲醇為原料，在復(fù)合氟化催化劑的作用下與氟化氫反應(yīng)，生成一氟甲烷。
